规格参数 | TLS-CNC-5040M | |
工 作 台 |
X/Y轴行程 | 500MM*400MM |
Z轴行程 | 有效空间245mm,调焦行程200mm,工作距离95mm | |
金属台面尺寸 | 700MM*600MM | |
玻璃台面尺寸 | 600MM*500MM | |
传动型式 | X/Y/Z轴进口精密线性导轨和进口研磨级滚珠螺杆 | |
测量伺服驱动 系统 |
光学尺分辨率:X/Y/Z轴0.0005MM(0.5UM) | |
测量精度:≤3UM+L/200 重复精度:≤3UM+L/200 | ||
X/Y/Z三轴进口高性能伺服电机,双重闭环控制系统 | ||
多镜头影像系统 | 摄像机:1.日本SONY 1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X 2.日本SONY 1/3″CCD 摄像机放大倍率30-230X |
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自动变倍镜头:1.NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X 2.NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X 可选配0.5X物镜时,总放大倍率15-115X 可选配2X物镜时,总放大倍率60-460X |
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光源系统 | 表面光源与透射光源LED冷光源、寿命长、亮度可调 | |
仪器外形尺寸(L*W*H) | 1100MM*1000MM*1650MM | |
仪器重量(KG) | 1000KG |