泰勒斯（天津）科技有限公司
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AWL系列晶圆检查系统_晶圆搬运_国产晶圆搬送机
发布时间：2023-04-28 09:48:38 浏览次数：
SOPTOP全新半导体工业检测产品——AWL系列晶圆检查系统，兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。
一个晶圆在经过一系列复杂工序后终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖晶圆搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏，而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。
SOPTOP推出了AWL系列晶圆检查系统（晶圆搬送机），拥有 AWL046、AWL068、AWL812三种机型，多类配置分别可适用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测，适应范围广、搭配灵活 。
360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面大倾斜角度70°，晶背 1 大倾斜角度 90°，晶背 2大倾斜角度 160°，利用旋转功能、倾斜角度，完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
AWL系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面大倾斜角度70°，晶背 1 大倾斜角度 90°，晶背 2大倾斜角度 160°，利用旋转功能、倾斜角度，完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工程学设计
LCD 显示屏，可为操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率，充分体现了国产晶圆搬送机的人机工程学设计理念。
精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜，可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统，可排查 μm 级异常，诸如孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等。
采用专业半复消色差金相物镜，可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统，可排查 μm 级异常，诸如孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等。
应用领域
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